在微納尺度測量領(lǐng)域，高分辨率、非接觸式的表面形貌分析對質(zhì)量控制與科研探索至關(guān)重要。Sensofar S neox作為一款多功能光學(xué)3D表面輪廓儀，融合多項(xiàng)*技術(shù)，為用戶提供靈活、高效的測量方案。Sensofar S neox多模式光學(xué)3D表面測量微觀

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與設(shè)計(jì)

S neox采用模塊化光學(xué)設(shè)計(jì)，集成共聚焦顯微鏡（CL）、干涉顯微鏡（IM）和白光垂直掃描（PSI）三種測量模式，可針對不同樣品特性自動切換優(yōu)良測量方式。其緊湊的機(jī)身與人性化操作界面，適用于實(shí)驗(yàn)室與工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境。

核心性能與特點(diǎn)

• •多模式智能切換：根據(jù)樣品反射率、粗糙度自動選擇CL/IM/PSI模式，實(shí)現(xiàn)納米至毫米級高精度測量。

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• •高分辨率成像：配備高數(shù)值孔徑物鏡，垂直分辨率達(dá)0.1 nm，橫向分辨率達(dá)0.3 μm。

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• •高效分析軟件：SensoMAP軟件支持實(shí)時(shí)3D建模、粗糙度分析（ISO 25178）、臺階高度測量及批量數(shù)據(jù)處理。

材質(zhì)與關(guān)鍵參數(shù)

• •光學(xué)系統(tǒng)：多層鍍膜物鏡與低噪聲CMOS傳感器，確保信號穩(wěn)定性。

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• •機(jī)械結(jié)構(gòu)：高剛性鋁合金框架，內(nèi)置主動隔振設(shè)計(jì)，減少環(huán)境干擾。

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• •環(huán)境適應(yīng)性：工作溫度18-25℃，濕度<70%，支持潔凈室環(huán)境使用。

型號與典型應(yīng)用

S neox系列包含基礎(chǔ)型與高速型（S neox Plus），適用于：

• •半導(dǎo)體：晶圓刻蝕深度、MEMS器件形貌分析

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• •精密光學(xué)：透鏡表面瑕疵檢測、鍍膜均勻性評估

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• •材料科學(xué)：涂層粗糙度、摩擦磨損研究

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• •物醫(yī)學(xué)：骨骼表面微結(jié)構(gòu)表征

包裝與配件

標(biāo)準(zhǔn)包裝含主機(jī)、校準(zhǔn)證書、防塵罩、工具套裝及USB?？蛇x配電動旋轉(zhuǎn)臺、溫控樣品臺或防振平臺，滿足特殊需求。

使用流程說明

1.校準(zhǔn)：開機(jī)后使用標(biāo)準(zhǔn)臺階樣塊進(jìn)行Z軸校準(zhǔn)。

2.測量：放置樣品，軟件自動推薦測量模式或手動選擇。

3.分析：一鍵生成高度圖、截面輪廓或統(tǒng)計(jì)參數(shù)報(bào)告。

售后服務(wù)支持

• •質(zhì)保政策：核心光學(xué)部件24個月保修，終身有償維護(hù)。

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• •技術(shù)支持：遠(yuǎn)程診斷+現(xiàn)場培訓(xùn)，提供年度校準(zhǔn)服務(wù)。

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• •軟件升級：定期推送新算法與兼容性更新。

結(jié)語

Sensofar S neox通過多技術(shù)融合與智能化操作，為微納制造與科研創(chuàng)新提供可靠數(shù)據(jù)支撐。如需技術(shù)演示或定制方案，歡迎聯(lián)系當(dāng)?shù)厥跈?quán)服務(wù)商。Sensofar S neox多模式光學(xué)3D表面測量微觀