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ZYGO 3D光學輪廓儀 ZeGage Pro 可直接用于生產(chǎn)的三維光學輪廓儀系統(tǒng)。 ZeGage™ Pro和 ZeGage™ Pro HR 三維光學輪廓儀可對多種類型表面的微米和納米級特征進行非接觸式測量和表征，實現(xiàn)制造環(huán)境中的質(zhì)量控制和過程監(jiān)控。

ZYGO 光學輪廓儀 NewView 9000 提供了強大、多功能的非接觸式光學表面分析。它可以簡單和快速地測量各種表面類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測量都是無損、快速、無需樣品制備的。

ZYGO光學輪廓儀 Nexview NX2 是為更高應用需求設計的，集超精密、先進算法、應用靈活性和自動化為一體，優(yōu)異展現(xiàn)了ZYGO相干掃描干涉(CSI)技術(shù)的能力。 采用的是非接觸式測量技術(shù)，具有亞納米測量精度（所有放大倍數(shù)下），可以更快更好地測量各種樣品表面，是一款具有非常高投資回報率的產(chǎn)品