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三維光學(xué)輪廓儀
Sensofar
多技術(shù)融合:S neox應(yīng)對復(fù)雜測量挑戰(zhàn)?
多技術(shù)融合:S neox應(yīng)對復(fù)雜測量挑戰(zhàn)?在現(xiàn)代自動化生產(chǎn)線上,如何將高精度的三維檢測技術(shù)無縫集成,是實現(xiàn)智能制造的關(guān)鍵一環(huán)。Sensofar的S mart2集成式3D共焦白光干涉測量頭,正是為此而生的解決方案。它將復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)濃縮在一個緊湊的工業(yè)級外殼內(nèi),易于集成到機(jī)械臂、CNC機(jī)床或定制自動化設(shè)備中。
面對日益復(fù)雜的樣品和更高的檢測要求,單一測量技術(shù)有時會顯得力不從心。Sensofar S neox的多技術(shù)融合特性,使其能夠從容應(yīng)對各種復(fù)雜的表面測量挑戰(zhàn),為用戶提供一個更全面、更可靠的工具。Sensofar新型共聚焦白光干涉輪廓儀
產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能
S neox的“多技術(shù)融合"并非簡單拼湊,而是深層次整合。其智能系統(tǒng)能根據(jù)預(yù)設(shè)的程序,在同一視場內(nèi)自動切換不同的測量技術(shù)。例如,可以先使用共聚焦模式快速掃描整個區(qū)域并識別出具有不同特征的子區(qū)域,然后針對光滑區(qū)域自動切換到干涉模式進(jìn)行納米級精度的測量。
這種智能的工作流程不僅保證了每個特征都能用最合適的技術(shù)進(jìn)行測量,還避免了人為切換帶來的誤差和時間消耗。True Color技術(shù)還能在測量形貌的同時,捕獲真實的表面顏色信息,為分析提供更多維度的參考。
用途深入解析
在MEMS器件測量中,既有高深寬比的結(jié)構(gòu)(適合共聚焦),又有光滑的反射面(適合干涉),S neox可一次測量全面表征。在透明薄膜測量中,共聚焦模式可以過濾掉底層反射的干擾,準(zhǔn)確測量薄膜表面形貌。在混合材料樣品上,不同材質(zhì)的反射率差異巨大,多技術(shù)選擇確保了測量的成功率。
使用說明
用戶可以在SensoMAP軟件中輕松設(shè)置測量序列(Recipe),將不同技術(shù)的測量步驟、物鏡選擇、參數(shù)設(shè)置等保存下來。日后遇到同類樣品,只需調(diào)用該Recipe,即可實現(xiàn)一鍵式全自動測量,極大降低了對操作人員的技術(shù)要求,保證了測量結(jié)果的一致性和可重復(fù)性。Sensofar新型共聚焦白光干涉輪廓儀
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