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三維光學輪廓儀
Sensofar
S neoxSensofar輪廓儀高精度表面測量解決方案
Sensofar輪廓儀高精度表面測量解決方案Sensofar三維共聚焦白光干涉儀是一款集成了共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)的高精度表面測量設(shè)備。
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Sensofar三維共聚焦白光干涉儀是一款集成了共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)的高精度表面測量設(shè)備。該設(shè)備采用非接觸式測量方式,適用于多種材料表面的三維形貌分析,廣泛應(yīng)用于半導體、光學元件、精密加工、生物醫(yī)學等領(lǐng)域的表面質(zhì)量控制。Sensofar輪廓儀高精度表面測量解決方案
設(shè)備具備高分辨率和高精度,能夠?qū)崿F(xiàn)納米級表面粗糙度的測量,滿足ISO 25178標準的測量要求。其共聚焦技術(shù)提供高橫向分辨率,可達0.10μm,適用于臨界尺寸的測量。干涉技術(shù)則提供納米級精度的表面高度測量,適用于光滑表面的精細測量。多焦面疊加技術(shù)則適用于粗糙表面的測量,最大斜率可達86°,適用于工件和模具的測量。
設(shè)備支持多種放大倍率和視場選擇,適用于不同尺寸和形狀的樣品測量。其非接觸式測量技術(shù)避免了對樣品的損傷,適用于多種材料表面的測量。設(shè)備配備高分辨率傳感器和自動聚焦功能,操作簡便,適合快速測量和數(shù)據(jù)分析。Sensofar輪廓儀高精度表面測量解決方案
Sensofar三維共聚焦白光干涉儀是一款集共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)于一體的高精度表面測量設(shè)備。其核心優(yōu)勢在于非接觸式測量,適用于多種材料表面的三維形貌分析。設(shè)備具備高分辨率和高精度,適用于半導體、精密光學、生物醫(yī)學等領(lǐng)域的表面測量。
設(shè)備采用共聚焦技術(shù),具備高橫向分辨率,可達0.10μm,適用于臨界尺寸測量。干涉技術(shù)則提供納米級精度的表面高度測量,適用于光滑表面的精細測量。多焦面疊加技術(shù)則適用于粗糙表面的測量,最大斜率可達86°,適用于工件和模具的測量。
設(shè)備支持多種放大倍率和視場選擇,適用于不同尺寸和形狀的樣品測量。其非接觸式測量技術(shù)避免了對樣品的損傷,適用于多種材料表面的測量。設(shè)備配備高分辨率傳感器和自動聚焦功能,操作簡便,適合快速測量和數(shù)據(jù)分析。
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