Sensofar 的三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀,以其設(shè)計(jì)理念與技術(shù)整合能力,為科研實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)生產(chǎn)線提供了穩(wěn)定的微觀測(cè)量支持,XPLore 型號(hào)便是其中的典型代表。Sensofar輪廓儀開啟微觀測(cè)量新旅程
該型號(hào)的樣品臺(tái)配備高精度微調(diào)裝置,微調(diào)精度可達(dá)微米級(jí),操作人員可通過旋鈕輕松調(diào)整樣品的 X、Y 軸位置與傾斜角度,滿足不同樣品的定位需求。對(duì)于需要多區(qū)域測(cè)量的樣品,無(wú)需頻繁拆裝,僅通過樣品臺(tái)調(diào)節(jié)即可完成多個(gè)測(cè)量點(diǎn)的切換,大幅減少了操作時(shí)間。在技術(shù)原理上,共聚焦技術(shù)通過針孔濾波消除虛焦光線,使焦平面上的圖像對(duì)比度顯著提升,再結(jié)合垂直掃描機(jī)制,逐點(diǎn)找出每個(gè)像素對(duì)應(yīng)的高度信息,最終構(gòu)建出三維形貌。干涉技術(shù)則利用光束分光后分別照射樣品和參考鏡片,反射光束形成的干涉條紋蘊(yùn)含著表面高度信息,通過對(duì)條紋的分析與解碼,可轉(zhuǎn)化為精確的高度數(shù)據(jù)。
內(nèi)部電子元件選用低噪聲型號(hào),從數(shù)據(jù)采集的傳感器到信號(hào)處理的電路模塊,都經(jīng)過嚴(yán)格篩選與調(diào)試,確保在長(zhǎng)時(shí)間測(cè)量過程中數(shù)據(jù)輸出的穩(wěn)定性,減少因電子噪聲導(dǎo)致的測(cè)量波動(dòng)。這一特性讓設(shè)備在連續(xù)監(jiān)測(cè)同一區(qū)域的動(dòng)態(tài)變化時(shí),能提供更可靠的對(duì)比數(shù)據(jù)。
該輪廓儀的適用范圍廣泛:在半導(dǎo)體領(lǐng)域,可用于芯片表面的缺陷檢測(cè)與線寬測(cè)量;生物醫(yī)藥領(lǐng)域,能觀察細(xì)胞與生物材料的界面形貌;材料測(cè)試中,可分析涂層的厚度均勻性與結(jié)合狀態(tài)。其對(duì)弱反光表面(如陶瓷燒結(jié)體)、多層結(jié)構(gòu)(如電路板的鍍層與基底)或多種材質(zhì)復(fù)合表面(如塑料與金屬的連接部)的測(cè)量能力,讓真實(shí)的三維形貌得以完整還原,為研發(fā)改進(jìn)與質(zhì)量控制提供扎實(shí)數(shù)據(jù)。Sensofar輪廓儀開啟微觀測(cè)量新旅程