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三維光學(xué)輪廓儀
BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀
BEUKER白光干涉儀:表面形貌測量新選擇
BEUKER白光干涉儀:表面形貌測量新選擇BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀采用非接觸式測量技術(shù),適用于微納米級表面形貌分析。其核心部件采用高質(zhì)量光學(xué)鏡頭和穩(wěn)定光源系統(tǒng),確保測量數(shù)據(jù)的可靠性。
BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀采用非接觸式測量技術(shù),適用于微納米級表面形貌分析。其核心部件采用高質(zhì)量光學(xué)鏡頭和穩(wěn)定光源系統(tǒng),確保測量數(shù)據(jù)的可靠性。BEUKER白光干涉儀:表面形貌測量新選擇 布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀 BEUKER白光干涉儀:表面形貌測量新選擇
產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能
光學(xué)系統(tǒng):配置高分辨率CCD和長壽命LED光源,適應(yīng)不同材質(zhì)表面的測量需求。
掃描范圍:垂直掃描范圍可達(dá)10mm,橫向分辨率優(yōu)于0.1μm。
軟件支持:配備專業(yè)分析軟件,支持3D形貌重建、粗糙度計算等功能。
用材與參數(shù)
主體框架采用鋁合金材質(zhì),兼顧輕便與穩(wěn)定性。
光學(xué)元件經(jīng)過防塵防霉處理,適合實驗室和工業(yè)環(huán)境。
主要型號
BKI-200:基礎(chǔ)型,適用于常規(guī)科研與質(zhì)檢。
BKI-300:高精度型,支持更大范圍測量。
用途
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件、精密加工等行業(yè),可用于檢測表面粗糙度、臺階高度、薄膜厚度等。
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