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三維光學(xué)輪廓儀
Sensofar
Sensofar S Neox多模式光學(xué)3D表面解決方案
Sensofar S Neox多模式光學(xué)3D表面解決方案Sensofar S Neox 是一款*的光學(xué)3D表面輪廓儀,整合了共聚焦、干涉和聚焦變化三種測量技術(shù),適用于高精度表面形貌分析。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)元件、精密加工及科研領(lǐng)域,提供快速、準(zhǔn)確的非接觸式測量方案。
Sensofar S Neox 是一款*的光學(xué)3D表面輪廓儀,整合了共聚焦、干涉和聚焦變化三種測量技術(shù),適用于高精度表面形貌分析。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)元件、精密加工及科研領(lǐng)域,提供快速、準(zhǔn)確的非接觸式測量方案。Sensofar S Neox多模式光學(xué)3D表面解決方案
多技術(shù)融合:支持共聚焦顯微鏡(CLI)、白光干涉(VSI)和聚焦變化(FVI)三種測量模式,適應(yīng)不同表面特性。
高分辨率成像:Z軸分辨率可達(dá)亞納米級(jí),橫向分辨率達(dá)亞微米級(jí),滿足精細(xì)結(jié)構(gòu)檢測需求。
智能自動(dòng)化:自動(dòng)對(duì)焦、多區(qū)域拼接、傾斜校正等功能,提升測量效率。
廣泛適用性:可測高反射、透明、粗糙或復(fù)雜曲面樣品,減少傳統(tǒng)測量限制。
光學(xué)系統(tǒng):高品質(zhì)物鏡與LED光源,確保成像清晰穩(wěn)定。
機(jī)械結(jié)構(gòu):精密導(dǎo)軌與減震設(shè)計(jì),降低環(huán)境振動(dòng)干擾。
軟件分析:直觀的SensoMAP軟件支持3D建模、粗糙度分析、形貌對(duì)比及數(shù)據(jù)導(dǎo)出。
參數(shù) | 指標(biāo) |
---|---|
測量技術(shù) | CLI/VSI/FVI |
Z軸分辨率 | ≤0.1 nm (VSI模式) |
橫向分辨率 | ≤0.3 μm |
最大視場 | 10×物鏡下可達(dá)3.2 mm × 3.2 mm |
樣品高度范圍 | 0.1 mm ~ 100 mm |
適用環(huán)境 | 溫度15°C~30°C,濕度<70% |
S Neox Basic:標(biāo)準(zhǔn)配置,適用于常規(guī)工業(yè)檢測。
S Neox Advanced:增強(qiáng)光學(xué)與掃描速度,適合高精度研發(fā)需求。
S Neox Custom:支持定制化模塊,滿足特殊應(yīng)用場景。
微電子制造:PCB、MEMS器件、晶圓缺陷檢測。
光學(xué)元件:透鏡、反射鏡、濾光片表面質(zhì)量分析。
精密加工:刀具、模具、機(jī)械部件形貌測量。
科研實(shí)驗(yàn):材料表面特性研究、生物樣本觀察。
主機(jī)(含光學(xué)模塊與載物臺(tái))
校準(zhǔn)證書與標(biāo)準(zhǔn)參考樣品
SensoMAP專業(yè)分析軟件(含授權(quán)密鑰)
防塵防震運(yùn)輸箱(符合工業(yè)包裝標(biāo)準(zhǔn))
初始化設(shè)置:安裝軟件并連接設(shè)備,進(jìn)行系統(tǒng)校準(zhǔn)。
樣品準(zhǔn)備:清潔樣品表面,固定于載物臺(tái)。
模式選擇:根據(jù)樣品材質(zhì)選擇CLI、VSI或FVI模式。
參數(shù)調(diào)整:設(shè)置掃描范圍、分辨率及光照條件。
數(shù)據(jù)采集與分析:實(shí)時(shí)預(yù)覽形貌圖像,生成檢測報(bào)告。
專業(yè)支持:提供在線技術(shù)指導(dǎo)與現(xiàn)場操作培訓(xùn)。
保修服務(wù):整機(jī)1年保修,核心光學(xué)組件延保至2年。
定期維護(hù):可選校準(zhǔn)服務(wù)與性能優(yōu)化套餐,確保設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行。
Sensofar S Neox 憑借多模式測量、高精度數(shù)據(jù)及智能化操作,為工業(yè)質(zhì)檢與科研創(chuàng)新提供可靠工具。如需技術(shù)演示或定制方案,歡迎聯(lián)系我們的專業(yè)團(tuán)隊(duì)。Sensofar S Neox多模式光學(xué)3D表面解決方案
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