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Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀表面測(cè)量新維度

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀表面測(cè)量新維度
在精密測(cè)量與微觀成像領(lǐng)域,一款性能穩(wěn)定、操作便捷的設(shè)備往往能為科研與生產(chǎn)帶來(lái)極大助力。Sensofar S lynx 作為一款備受關(guān)注的成像設(shè)備,憑借其出色的綜合表現(xiàn),成為眾多行業(yè)用戶的選擇。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-08-15
廠商性質(zhì):代理商
訪問(wèn)量:99
詳細(xì)介紹在線留言

一、產(chǎn)品概覽:工業(yè)與科研的“微觀之眼"
作為西班牙Sensofar公司推出的新一代非接觸式3D表面光學(xué)輪廓儀S lynx系列以“三合一測(cè)量技術(shù)"為核心,融合白光干涉、共聚焦成像AI多焦面疊加三大功能,覆蓋從納米級(jí)光滑表面到微米級(jí)粗糙結(jié)構(gòu)的全尺度測(cè)量需求。其緊湊設(shè)計(jì)(整機(jī)尺寸420mm×380mm×580mm,重量不足35kg)與模塊化結(jié)構(gòu),可靈活部署于潔凈車間、實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線,成為半導(dǎo)體、汽車制造、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的“形貌分析利器"。Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀表面測(cè)量新維度Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀表面測(cè)量新維度

二、產(chǎn)品性能:技術(shù)突破定義

  1. 三重測(cè)量技術(shù)協(xié)同

    • 白光干涉模式:針對(duì)Ra<10nm的超光滑表面(如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鏡片),垂直分辨率達(dá)0.1nm,可精準(zhǔn)捕捉納米級(jí)缺陷與形貌變化。

    • 共聚焦成像模式:通過(guò)針孔濾波排除離焦光干擾,橫向分辨率達(dá)0.09μm,適用于金屬加工件、陶瓷涂層等中等粗糙度表面的紋理與形貌復(fù)合分析。

    • AI多焦面疊加技術(shù):針對(duì)Ra>1μm的粗糙表面(如3D打印構(gòu)件、地質(zhì)樣本),通過(guò)深度學(xué)習(xí)算法融合多焦面圖像,在10mm垂直行程內(nèi)保持0.5μm重復(fù)性精度,測(cè)量效率較傳統(tǒng)方法提升3倍。

  2. 動(dòng)態(tài)范圍與效率平衡

    • 電動(dòng)XY平臺(tái)行程達(dá)125mm×75mm,支持高精度傾斜調(diào)整(角度分辨率0.001°),可自動(dòng)完成樣品定位與調(diào)平。

    • 傳感器頭內(nèi)嵌計(jì)算單元,數(shù)據(jù)預(yù)處理效率提升40%,搭配SensoVIEW 2.0軟件,實(shí)現(xiàn)ISO 25178、ASA S2等20余種國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)計(jì)算,并支持?jǐn)?shù)字孿生映射與MES/ERP系統(tǒng)無(wú)縫對(duì)接。

三、核心參數(shù)與技術(shù)規(guī)格

參數(shù)項(xiàng)S lynx 2型號(hào)
測(cè)試范圍125mm×75mm(電動(dòng)平臺(tái))
垂直分辨率0.1nm(白光干涉模式)
橫向分辨率0.09μm(共聚焦模式)
最大斜率測(cè)量86°(粗糙表面)
物鏡可選范圍2.5×-100×(支持手動(dòng)/電動(dòng)切換)
數(shù)據(jù)處理速度共聚焦模式9幀/秒,明場(chǎng)模式30幀/秒
軟件功能SensoSCAN(基礎(chǔ)分析)、SensoMAP/PRO(高階分析)


四、用材與工藝:工業(yè)級(jí)耐用性保障

  • 光學(xué)系統(tǒng):采用德國(guó)肖特光學(xué)玻璃與日本濱松LED光源,確保光路穩(wěn)定性與色彩還原度。

  • 機(jī)械結(jié)構(gòu):航空級(jí)鋁合金框架搭配大理石基座,抗振動(dòng)干擾能力提升50%,適應(yīng)復(fù)雜工業(yè)環(huán)境。

  • 防護(hù)設(shè)計(jì):IP54防護(hù)等級(jí),防塵防水濺,關(guān)鍵部件(如物鏡、電動(dòng)平臺(tái))采用密封設(shè)計(jì),延長(zhǎng)使用壽命。

五、應(yīng)用場(chǎng)景:跨行業(yè)解決方案

  1. 半導(dǎo)體制造:檢測(cè)晶圓表面亞表面損傷層厚度,評(píng)估刻蝕均勻性與側(cè)壁粗糙度。

  2. 新能源電池:非接觸式測(cè)量極片涂層厚度一致性,避免探針劃傷風(fēng)險(xiǎn),支持米級(jí)長(zhǎng)度在線全檢。

  3. 生物醫(yī)學(xué):分析人工關(guān)節(jié)羥基磷灰石涂層的孔隙率與結(jié)晶度,預(yù)測(cè)植入物壽命。

  4. 汽車工程:測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)缸體、渦輪葉片的表面粗糙度,優(yōu)化摩擦性能與耐久性。

六、包裝與運(yùn)輸:安全無(wú)憂的交付體驗(yàn)

  • 定制化包裝:采用高密度泡沫內(nèi)襯與防震木箱,通過(guò)ISTA 3A運(yùn)輸測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),確保設(shè)備在長(zhǎng)途運(yùn)輸中免受沖擊。

  • 配件清單:包含標(biāo)準(zhǔn)物鏡套裝(5×/10×/50×)、校準(zhǔn)樣塊、SensoSCAN軟件授權(quán)、操作手冊(cè)與快速指南。

七、使用說(shuō)明:從開(kāi)箱到測(cè)量的全流程支持

  1. 安裝調(diào)試:由Sensofar認(rèn)證工程師提供現(xiàn)場(chǎng)安裝與光路校準(zhǔn)服務(wù),確保設(shè)備達(dá)到出廠精度標(biāo)準(zhǔn)。

  2. 操作培訓(xùn):通過(guò)線上課程與線下實(shí)操結(jié)合,覆蓋軟件參數(shù)設(shè)置、測(cè)量模式選擇、數(shù)據(jù)分析報(bào)告生成等全流程。

  3. 維護(hù)指南:提供每日清潔、季度校準(zhǔn)、年度保養(yǎng)的標(biāo)準(zhǔn)化流程,延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。


結(jié)語(yǔ):S lynx——讓微觀世界觸手可及
從晶圓廠的納米級(jí)缺陷檢測(cè)到汽車生產(chǎn)線的表面質(zhì)量管控,Sensofar S lynx以“精準(zhǔn)、高效、智能"重新定義表面測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)。其三合一技術(shù)架構(gòu)與工業(yè)級(jí)設(shè)計(jì),不僅滿足當(dāng)前制造需求,更通過(guò)數(shù)字孿生與AI集成,為工業(yè)4.0時(shí)代的智能化轉(zhuǎn)型提供核心數(shù)據(jù)支撐。選擇S lynx,即是選擇一個(gè)更精密、更可靠的微觀世界探索伙伴。Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀表面測(cè)量新維度

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