sensofar白光干涉儀：檢測(cè)薄膜厚度

西班牙Sensofar公司推出的S neox共聚焦模式白光干涉儀，是一款集成了共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)的三維光學(xué)輪廓儀，廣泛應(yīng)用于科研、質(zhì)量檢測(cè)和生產(chǎn)過(guò)程控制等領(lǐng)域。該設(shè)備以其高精度、多功能性和非接觸式測(cè)量特性，成為表面形貌測(cè)量領(lǐng)域的。

一、S neox共聚焦模式的核心特點(diǎn)

1. 共聚焦模式

共聚焦模式是S neox的核心功能之一，其主要優(yōu)勢(shì)在于提供高橫向分辨率（可達(dá)0.10μm），適用于臨界尺寸測(cè)量。該模式通過(guò)共聚焦顯微鏡技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)光滑表面的高精度測(cè)量，并且在測(cè)量過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)部件，從而確保了測(cè)量的穩(wěn)定性和重復(fù)性。此外，S neox采用高數(shù)值孔徑（NA=0.95）和高放大倍率（150X和200X）的物鏡，能夠測(cè)量斜率超過(guò)70°的表面，適用于高陡表面的測(cè)量

。

2. 真彩色共聚焦圖像

S neox在共聚焦模式下，能夠生成真彩色圖像，每個(gè)像素點(diǎn)還原真實(shí)色彩，色彩保真度高。這種技術(shù)通過(guò)紅、綠、藍(lán)三色LED交替照明，并將三張單色圖像合成一幅高分辨率的彩色圖像，相比其他品牌采用像素插值算法的方式，S neox的圖像質(zhì)量更勝。

3. 超清晰細(xì)節(jié)

S neox配備了高分辨率攝像頭（2560x1440像素），能夠呈現(xiàn)共聚焦圖像的超清晰細(xì)節(jié)，使用戶能夠清晰地觀察表面的微小結(jié)構(gòu)

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二、S neox的多技術(shù)融合

S neox不僅具備共聚焦模式，還集成了干涉和多焦面疊加技術(shù)，使其在不同應(yīng)用場(chǎng)景中具有靈活性和適應(yīng)性。

1. 干涉模式

干涉模式提供亞納米級(jí)精度的縱向分辨率，適用于光滑表面的高度測(cè)量。該模式通過(guò)白光干涉技術(shù)，能夠測(cè)量納米級(jí)的表面形貌，適用于各種光滑表面的測(cè)量。此外，S neox還支持多波長(zhǎng)LED光源（紅、綠、藍(lán)、白），以滿足不同應(yīng)用需求

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2. 多焦面疊加模式

多焦面疊加模式是S neox的一大亮點(diǎn)，它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成對(duì)非常粗糙表面的測(cè)量。該模式通過(guò)快速掃描和大掃描范圍，能夠測(cè)量斜率高達(dá)86°的表面，適用于工件和模具的測(cè)量。此外，該模式還支持AI算法，能夠自動(dòng)合并多個(gè)焦面的圖像，生成完整的3D表面形貌

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3. 無(wú)運(yùn)動(dòng)部件設(shè)計(jì)

S neox的測(cè)量頭內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件，采用Microdisplay共聚焦掃描技術(shù)，避免了機(jī)械振動(dòng)帶來(lái)的測(cè)量誤差。這種設(shè)計(jì)不僅提高了測(cè)量的穩(wěn)定性，還延長(zhǎng)了設(shè)備的使用壽命

。

三、S neox的應(yīng)用領(lǐng)域

S neox因其高精度和多功能性，被廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域，包括但不限于：

半導(dǎo)體制造：用于測(cè)量晶圓的表面粗糙度、臺(tái)階高度和孔內(nèi)深度。

生物醫(yī)學(xué)：用于測(cè)量生物材料的表面形貌和納米壓力傳感器的初始偏轉(zhuǎn)。

微電子與電子消費(fèi)產(chǎn)品：用于測(cè)量微通道、激光結(jié)構(gòu)和功能紋理。

古生物學(xué)：用于分析工具的使用痕跡和微磨損。

能源與汽車(chē)：用于測(cè)量電池表面紋理和模具尺寸。

四、S neox的技術(shù)優(yōu)勢(shì)

高精度：S neox在共聚焦模式下提供0.10μm的橫向分辨率，干涉模式下提供亞納米級(jí)的縱向分辨率，多焦面疊加模式下提供納米級(jí)的測(cè)量精度。

高速度：S neox的數(shù)據(jù)采集速度可達(dá)180 fps，是市場(chǎng)上速度最快的表面測(cè)量系統(tǒng)之一

。

多功能性：S neox支持多種測(cè)量模式，能夠適應(yīng)不同類(lèi)型的表面形貌測(cè)量需求。

非接觸式測(cè)量：S neox采用非接觸式測(cè)量技術(shù)，避免了對(duì)樣品的損傷，適用于各種敏感材料的測(cè)量

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用戶友好：S neox配備了SensoSCAN、SensoPRO和SensoMAP等軟件，提供直觀的操作界面和強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析功能

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五、S neox的市場(chǎng)表現(xiàn)與支持

S neox自推出以來(lái)，因其性能和可靠性，受到了全球用戶的廣泛認(rèn)可。Sensofar公司作為共聚焦干涉顯微鏡的發(fā)明者，將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合，無(wú)需額外硬件即可自動(dòng)切換模式，使客戶能夠同時(shí)擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀的功能。此外，S neox還提供整機(jī)質(zhì)保期1年，安裝調(diào)試現(xiàn)場(chǎng)免費(fèi)培訓(xùn)，電話支持響應(yīng)時(shí)間24小時(shí)內(nèi)，維修響應(yīng)時(shí)間3天內(nèi)，以及維保合同等售后服務(wù)。

六、總結(jié)

西班牙Sensofar的S neox共聚焦模式白光干涉儀是一款集成了共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)的三維光學(xué)輪廓儀，以其高精度、多功能性和非接觸式測(cè)量特性，成為表面形貌測(cè)量領(lǐng)域的。無(wú)論是科研機(jī)構(gòu)還是工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域，S neox都能提供測(cè)量解決方案，滿足各種復(fù)雜的應(yīng)用需求

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