Sensofar經(jīng)濟(jì)型三維共聚焦白光干涉輪廓儀

一、產(chǎn)品概述——緊湊、靈活、強(qiáng)大

經(jīng)濟(jì)型三維共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx是款為工業(yè)和研究所設(shè)計的全新非接觸式3D表面光學(xué)輪廓儀，用于工業(yè)和科研應(yīng)用，其設(shè)計定位是個緊湊和靈活的系統(tǒng)。它設(shè)計簡潔、用途多樣。經(jīng)濟(jì)型三維共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx能夠測量不同的材質(zhì)，結(jié)構(gòu)，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌,測量應(yīng)用。Sensofar的核心是將3種測量方式融于體，確保了其的性能。配合SensoSCAN軟件系統(tǒng)，用戶將獲得難以置信的直觀操作體驗(yàn)。

SENSOFAR公司作為干涉共焦顯微鏡的發(fā)明者，開創(chuàng)性地將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合在起，無需插拔任何硬件就可以在軟件內(nèi)自動實(shí)現(xiàn)共聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切換。使客戶無需花費(fèi)高昂的費(fèi)用就能同時擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀。

SENSOFAR在1999年創(chuàng)立之初，就是以三維表面形貌測量為主要研發(fā)方向，通過持續(xù)不斷地研發(fā)和申請利技術(shù)，在全球范圍內(nèi)創(chuàng)造了數(shù)百種表面形貌測量應(yīng)用產(chǎn)品，積累了豐富的技術(shù)實(shí)力。

二、主要應(yīng)用

半導(dǎo)體晶圓應(yīng)用、汽車零部件、消費(fèi)電子、能源、材料表面、微電子、LED、微體古生物學(xué)、光學(xué)鏡片加工、模具加工、鐘表制造、腐蝕表面結(jié)構(gòu)、摩擦學(xué)表面結(jié)構(gòu)。

三、主要特點(diǎn)及功能

1）  共聚焦

共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表面測量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。利的共聚焦算法保證Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。

2） 干涉

白光垂直掃描干涉（VSI）是種廣泛用于測量表面特性（如形貌或透明薄膜結(jié)構(gòu)）的功能強(qiáng)大的技術(shù)。它適合測量從光滑到適度粗糙的表面，無論物鏡的NA或者放大倍數(shù)變化，均可以提供納米的垂直分辨率。

3） 多焦面疊加

多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計了此功能來補(bǔ)足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的大亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

4） 真彩色共聚焦圖像

每個像素點(diǎn)都能還原真實(shí)的色彩，在掃描時紅、綠、藍(lán)三色LED交替照明，并將三張單色的圖片還原成一幅高分辨率的彩色圖像。相比其他品牌采用像素插值算法，用這種技術(shù)獲得的圖片色彩保真度和還原性更勝。

四、主要優(yōu)勢：

1） 實(shí)時圖像    

SENSOSCAN為您呈現(xiàn)的共聚焦實(shí)時圖像。我們的圖像質(zhì)量和速度進(jìn)一步提升，在共聚焦照明模式下可達(dá)9幀/秒，在明場照明模式下高達(dá)30幀/秒。與此同時，還有多種實(shí)時圖像模式選擇。

2） 豐富的參數(shù)設(shè)定

通過調(diào)整參數(shù)可優(yōu)化測量步驟。例如，優(yōu)化自動對焦設(shè)定能夠減少測量時間，采用多級的照明和優(yōu)化掃描范圍可觀察復(fù)雜的3D形貌。優(yōu)化后的測量參數(shù)可存儲為單點(diǎn)（SMR）或多點(diǎn)（MMR）程序測量。

3） 一鍵3D測量  

用戶只需找到測量位置 ， 點(diǎn)擊3D測量按鈕，SensoSCAN的軟件將自動調(diào)整照明亮度，自動對焦，執(zhí)行較佳的測量模式，將精準(zhǔn)的測量結(jié)果于彈指間為您呈現(xiàn)。

4） 交互式的3D和2D視圖提供多樣的分析      

演示及渲染選項(xiàng)。內(nèi)置測量軟件有測量尺寸，角度，距離，直徑，標(biāo)注特性等功能。因此，SensoSCAN是一款解決各種分析任務(wù)的理想軟件。您還可選擇以下兩套高階軟件來完成更復(fù)雜的分析SensoMAP和SensoPRO。

5） 進(jìn)階分析

更豐富的進(jìn)階分析功能可進(jìn)行數(shù)據(jù)補(bǔ)償，形狀去除（平面，球形，不規(guī)則形狀），濾波分析，剪裁和提取輪廓等。用戶可生成分析模版保證分析的連續(xù)性和一致性。