ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀

ZeGage Pro 是 ZYGO 公司推出的一款三維光學(xué)輪廓儀，專為高精度表面測量設(shè)計。該設(shè)備采用非接觸式光學(xué)測量技術(shù)，無需樣品制備，適用于多種表面類型，包括光滑、粗糙、平面、斜坡面等。其核心優(yōu)勢在于其高精度和穩(wěn)定性，能夠提供納米級的表面形貌測量。

ZeGage Pro 采用計算機(jī)控制的4位物鏡轉(zhuǎn)臺，支持區(qū)域測量，對待測件放置不敏感，測量結(jié)果穩(wěn)定可靠。其納米級的表面定量計量精度符合ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)，適用于多種工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體、光學(xué)元件、精密機(jī)械加工等領(lǐng)域。設(shè)備操作簡便，無需額外耗材，適合長期穩(wěn)定運行。

ZeGage Pro 的高分辨率圖形傳感器可在短時間內(nèi)完成快速面測量，提供表面細(xì)節(jié)成像，適用于多種工業(yè)場景。其抗震設(shè)計和非接觸式測量技術(shù)，使其在振動環(huán)境中仍能保持高精度。該設(shè)備適合需要高精度、高穩(wěn)定性的工業(yè)測量需求。

ZeGage Pro 的測量范圍廣泛，支持多種放大倍率和樣品尺寸，適用于不同尺寸的樣品測量。其自動化對焦和設(shè)置功能提升了測量效率，適合高精度、高穩(wěn)定性的工業(yè)應(yīng)用。設(shè)備支持多種附加模塊，如透明薄膜測量和二維視覺分析，適用于多種特定需求。

ZeGage Pro 的高精度、高穩(wěn)定性使其成為工業(yè)測量中的理想選擇，適用于半導(dǎo)體、光學(xué)、精密制造等領(lǐng)域。其非接觸式測量技術(shù)避免了傳統(tǒng)接觸式測量的磨損和誤差，適合長期穩(wěn)定運行。該設(shè)備在工業(yè)測量中具有廣泛的應(yīng)用前景，為高精度、高穩(wěn)定性的測量需求提供了可靠的技術(shù)支持。

ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀