產(chǎn)品概述

Zygo光學(xué)輪廓儀：微納表面測(cè)量方案  Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀采用非接觸式測(cè)量技術(shù)，為微納米級(jí)表面形貌檢測(cè)提供有效解決方案，適用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件和精密制造等領(lǐng)域。

性能特點(diǎn)

• 多模式測(cè)量：支持白光干涉和相移干涉模式

• 寬范圍測(cè)量：垂直測(cè)量范圍可達(dá)10mm

• 快速掃描：?jiǎn)未螠y(cè)量時(shí)間可控制在秒級(jí)

• 高重復(fù)性：測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠

用材與工藝

• 光學(xué)系統(tǒng)：高精度干涉物鏡組

• 機(jī)械平臺(tái)：花崗巖基座配合空氣隔振

• 探測(cè)系統(tǒng)：高分辨率CCD傳感器

• 控制系統(tǒng)：模塊化電子系統(tǒng)

參數(shù)表

典型用途

• 晶圓表面缺陷檢測(cè)

• 光學(xué)鏡面面形測(cè)量

• MEMS器件三維形貌分析

• 材料表面粗糙度評(píng)估

使用說(shuō)明

1. 樣品準(zhǔn)備：確保待測(cè)表面清潔無(wú)污染

2. 參數(shù)設(shè)置：選擇合適的光學(xué)模式和放大倍率

3. 自動(dòng)對(duì)焦：使用軟件輔助對(duì)焦功能

4. 開始測(cè)量：?jiǎn)?dòng)自動(dòng)掃描程序

5. 數(shù)據(jù)分析：通過(guò)配套軟件處理測(cè)量結(jié)果

維護(hù)建議

• 定期清潔光學(xué)元件

• 保持實(shí)驗(yàn)室環(huán)境穩(wěn)定

• 避免設(shè)備受到振動(dòng)影響

• 定期進(jìn)行設(shè)備校準(zhǔn)

結(jié)語(yǔ)：
Zygo光學(xué)輪廓儀以可靠的測(cè)量性能，為工業(yè)檢測(cè)和科研工作提供支持。如需了解更多信息，歡迎咨詢專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)。Zygo光學(xué)輪廓儀：微納表面測(cè)量方案