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Sensofar共聚焦白光干涉儀光譜反射技術(shù)

更新時(shí)間:2024-11-25點(diǎn)擊次數(shù):317

薄膜

透明層沉積在表面上時(shí),其反射率會(huì)變化。該系統(tǒng)獲取可見(jiàn)范圍內(nèi)樣本的反射光譜,并與軟件計(jì)算的模擬光譜進(jìn)行比較,對(duì)層厚進(jìn)行修改,直到找到匹配的厚度。對(duì)于薄膜,厚度與光波長(zhǎng)類(lèi)似,我們沿著光譜獲得波浪狀的反射率響應(yīng)。

主要特征

從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜可在不到 5 秒的時(shí)間內(nèi)測(cè)得

從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜

不到 5 秒內(nèi)采集

一個(gè)物鏡可覆蓋 整個(gè) 范圍

不同光斑大小 (3.5 μm 到 40 μm) 


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