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Sensofar共聚焦白光干涉儀:高精度測量的行業(yè)先鋒

更新時間:2024-06-17點擊次數(shù):1060
  在精密測量領(lǐng)域,特別是在半導(dǎo)體、光學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域,對表面形貌和薄膜厚度的測量需求日益增長。Sensofar共聚焦白光干涉儀以其高精度、高效率的測量能力和多樣化的應(yīng)用,成為了這些領(lǐng)域的先進(jìn)者。本文將詳細(xì)介紹Sensofar共聚焦白光干涉儀的技術(shù)特點和應(yīng)用領(lǐng)域。
 
  一、技術(shù)特點概述
  Sensofar共聚焦白光干涉儀是一款結(jié)合了多種測量技術(shù)的先進(jìn)光學(xué)測量設(shè)備。它采用白光干涉技術(shù),結(jié)合共聚焦技術(shù)和光譜反射技術(shù),能夠在任何放大倍率下實現(xiàn)高精度的表面形貌和薄膜厚度測量。其測量原理是通過將光分成兩個不同路徑的光束,并在樣本上合并產(chǎn)生干涉條紋,進(jìn)而分析得到樣本表面的形貌信息。
 
  該儀器具有以下顯著的技術(shù)特點:
  1.高精度測量:儀器具有較高的測量精度,能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級別的表面高度測量和納米級別的薄膜厚度測量。
  2.大視場測量:該儀器能夠在較大的視場范圍內(nèi)進(jìn)行高精度測量,適用于各種尺寸和形狀的樣本。
  3.快速測量:通過優(yōu)化算法和硬件設(shè)計,該儀器能夠?qū)崿F(xiàn)快速的測量速度,提高工作效率。
  4.多樣化測量技術(shù):該儀器集成了多種測量技術(shù),如相移干涉法(PSI)、擴(kuò)展相移干涉技術(shù)(EPSI)、相干掃描干涉法(CSI)等,能夠滿足不同測量需求。
 

 

  二、應(yīng)用領(lǐng)域
  Sensofar共聚焦白光干涉儀在多個領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用,主要包括以下幾個方面:
  1.半導(dǎo)體領(lǐng)域:在半導(dǎo)體制造過程中,儀器可用于晶圓檢測、蝕刻電路高度評估、3D十字切口質(zhì)量評估等關(guān)鍵環(huán)節(jié),確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
  2.光學(xué)領(lǐng)域:在光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計和制造過程中,儀器可用于測量透鏡、棱鏡、反射鏡等光學(xué)元件的表面形貌和光學(xué)性能,為光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計和優(yōu)化提供有力支持。
  3.材料科學(xué)領(lǐng)域:該儀器可用于測量各種材料的表面形貌和薄膜厚度,如金屬、陶瓷、聚合物等,為材料研究和開發(fā)提供重要數(shù)據(jù)支持。
  4.其他領(lǐng)域:該儀器還可應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)測、文物保護(hù)等領(lǐng)域,為這些領(lǐng)域的研究和應(yīng)用提供高精度測量手段。
 
  三、總結(jié)
  Sensofar共聚焦白光干涉儀以其高精度、高效率的測量能力和多樣化的應(yīng)用,成為了精密測量領(lǐng)域的行業(yè)先鋒。通過不斷創(chuàng)新和優(yōu)化,儀器將繼續(xù)為各個領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)提供更加先進(jìn)、可靠的測量解決方案。
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